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848620 - 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置

84862010 - 制半导体器件或IC的氧化扩散等热处理设备
84862021 - 制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置
84862022 - 制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置
84862029 - 其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备
84862031 - 制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机
84862039 - 其他投影绘制电路图的制半导体件或IC的装置
84862041 - 制造半导体器件或IC的等离子体干法刻蚀机
84862049 - 制造半导体器件或IC的其他刻蚀及剥离设备
84862050 - 制造半导体器件或集成电路用的离子注入机
84862090 - 其他制半导体器件或集成电路用的机器及装置

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