9031-本章其他品目未列名的测量或检验仪器、器具及机器；轮廓投影仪

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903141 - 制造半导体器件（包括集成电路）时检验半导体晶圆、器件（包括集成电路）或检测光掩模及光栅用的光学仪器及器具
903149 - 其他测量或检验用光学仪器及器具
903180 - 未列名的测量或检验仪器、器具及机器
903190 - 9031所列仪器、器具及机器的零件及附件